
青岛崂山仰口
碳化硅反射镜在高端光学系统中作用关键,但传统增材制造过程中面临着碳化硅颗粒流动性差与游离硅物相调控难的双重瓶颈。该所光学系统先进制造全国重点实验室张舸研究员团队与中国科学院空间应用工程与技术中心王功研究员团队合作,利用石墨兼具固体润滑与促进反应的双重功效,一举突破两大技术瓶颈。
实验数据显示,采用该方法后,镜体中碳化硅含量由46.36%提升至64.54%。团队成功制备出直径220毫米的拓扑结构碳化硅镜体,全链路尺寸变形量控制在0.5%以内,经加工后光学表面面形精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm),表面粗糙度仅为0.772nm。(完)
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